Intel 各款Atom CPU規格比較
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最新發表的 N450, D410, D510 由於內建 GPU，因此 Die Size, 電晶體數目都比其他 Atom CPU 高出許多。
| 代號 | CPU | 時脈 | FSB (MHz) | 核心 數 | 執行 緒 | L2 cache KB | 虛擬化 支援 | 64-bit | TDP | Die size mm^2 | 電晶體 (百萬) | 封裝 尺寸 (mm) | 發表 時程 |
| Diamondville | 230 | 1.6GHz | 533 | 1 | 2 | 512 | No | Yes | 4W | 26 | 47 | 22x22 | 08Q2 |
| Diamondville | 330 | 1.6GHz | 533 | 2 | 4 | 1024 | No | Yes | 8W | 52 | 94 | 22x22 | 08Q3 |
| Diamondville | N270 | 1.6GHz | 533 | 1 | 2 | 512 | No | No | 2.5W | 26 | 47 | 22x22 | 08Q2 |
| Diamondville | N280 | 1.66GHz | 667 | 1 | 2 | 512 | No | No | 2.5W | 26 | 47 | 22x22 | 09Q1 |
| Pineview | N450 | 1.66GHz | DMI | 1 | 2 | 512 | No | Yes | 5.5W | 66 | 225 | 22x22 | 10Q1 |
| Pineview | D410 | 1.66GHz | DMI | 1 | 2 | 512 | No | Yes | 10W | 66 | 225 | 22x22 | 10Q1 |
| Pineview | D510 | 1.66GHz | DMI | 2 | 4 | 1024 | No | Yes | 13W | 87 | 317 | 22x22 | 10Q1 |
| Silverthorne | Z500 | 800MHz | 400 | 1 | 2 | 512 | No | No | 0.65W | 26 | 47 | 13x14 | 08Q2 |
| Silverthorne | Z510 | 1.1GHz | 400 | 1 | 1 | 512 | No | No | 2W | 26 | 47 | 13x14 | 08Q2 |
| Silverthorne | Z520 | 1.33GHz | 533 | 1 | 2 | 512 | Yes | No | 2W | 26 | 47 | 13x14 | 08Q2 |
| Silverthorne | Z530 | 1.6GHz | 533 | 1 | 2 | 512 | Yes | No | 2W | 26 | 47 | 13x14 | 08Q2 |
| Silverthorne | Z540 | 1.86GHz | 533 | 1 | 2 | 512 | Yes | No | 2.4W | 26 | 47 | 13x14 | 08Q2 |
| Silverthorne | Z550 | 2GHz | 533 | 1 | 2 | 512 | Yes | No | 2.4W | 26 | 47 | 13x14 | 09Q2 |